Attolight特邀演講報告
Attolight AG致力于先進的材料科學和半導體研究，以其創(chuàng)新的定量陰極發(fā)光（qCL）解決方案而聞名。此次受特邀參加2025年3月22-25日在廈門舉辦的2025國際顯示技術大會（ICDT 2025），銷售經(jīng)理Nicolas與會做了演講，演講報告主題為：用于半導體和光電材料高級表征的多功能分析平臺。
演講報告地址：Nicolas Médard - ICDT https://sidicdt.org/nd.jsp?id=1676
大會概況
2025國際顯示技術大會（ICDT 2025）已于2025年3月22-25日在廈門成功舉辦。ICDT立足于中國，面向全球，宗旨是加強顯示技術國際交流與合作，提升中國顯示技術及顯示產(chǎn)業(yè)鏈整體水平，實現(xiàn)中國顯示技術從跟進、同步到引領的變革。
本次ICDT大會的討論交流主題涵蓋新型顯示技術領域及智能制造技術的最新進展，旨在積極推進全球范圍內尤其是中國顯示技術領域的研究與發(fā)展。除了18個技術主題外，還聚焦先進薄膜晶體管顯示技術、AI賦能與成像顯示、VR/AR/MR和元宇宙、Mini/Micro-LED和高度集成半導體信息顯示、光場顯示、柔性電子及其顯示技術、量子點及其相關顯示技術、車載顯示、綠色智能制造技術9個專題。
此次大會為期4天，以 " 預見顯示技術發(fā)展趨勢（I see display trend）" 為主題，包括700多個報告以及20多場各具特色的精彩活動，探討全球顯示產(chǎn)業(yè)和技術發(fā)展趨勢，推進全球尤其是中國顯示產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
Attolight陰極發(fā)光CL-SEM系統(tǒng)在顯示技術領域中的應用
在顯示行業(yè)中，隨著Mini/MicroLED、OLED、量子點等新型顯示技術的快速發(fā)展，陰極發(fā)光掃描電鏡（CL-SEM）憑借其獨特的材料特性分析能力，成為研發(fā)、生產(chǎn)和質量控制中不可或缺的工具，Attolight CL-SEM更是其中的佼佼者：
1、GaInN/GaN多量子殼納米線微發(fā)光二極管（MicroLED）是下一代顯示設備的有力競爭者。利用CL超光譜成像技術可以對它們的發(fā)光特性進行詳細表征。下圖a和b展示了從頂部視角獲取的結構的二次電子（SE）和全色CL強度圖像。圖c展示了整個圖像的平均發(fā)射光譜。通過在不同波長范圍（通常在發(fā)射峰附近）上積分發(fā)射強度，可以得到不同的圖像（圖d），稱為彩色帶圖像，這些圖像可以代表堆疊中的特定材料或一種材料的特定特性。
2、qCL使得在每個器件內部、器件之間以及晶圓全表面各區(qū)域之間進行比較成為可能。這種定量比較對于識別工藝變化和潛在故障具有極大的價值。它能夠平滑地銜接納米尺度和毫米尺度的器件特性，并能夠高效地表征沉積工藝的均勻性、光刻工藝的質量以及器件的基本發(fā)射特性，下圖為使用全晶圓qCL工具（Santis 300）獲取的MicroLED陣列全晶圓圖譜。qCL的使用確保了每個器件、不同器件之間、晶圓區(qū)域之間以及不同晶圓和晶圓批次之間的光強度測量結果具有可比性，這對于生產(chǎn)監(jiān)控至關重要。
使用qCL工具（Santis 300）對MicroLED陣列強度測量所得的完整晶圓圖譜
從材料研發(fā)到量產(chǎn)質控，陰極發(fā)光掃描電鏡（CL-SEM）為顯示技術的迭代升級提供了微觀尺度的工具。隨著Mini/MicroLED、量子點、鈣鈦礦等技術的突破，Attolight將持續(xù)推動顯示行業(yè)向更高分辨率、更長壽命、更低能耗的目標邁進，助力“屏聯(lián)萬物”時代的到來。
